Az ASML EUV gyártása a 2019-es 22 egységről 2021-re 42 egységre nőtt
Dec 09, 2022| A The Elec szerint az ASML a közelmúltban a 2022-es Semiconductor EUV Ecosystem Globális Konferencián bejelentette, hogy az ASML által gyártott EUV eszközök száma a 2019-es 22-ről 2021-re 42-re nőtt, és idén várhatóan meghaladja az 50-et. A termelés jövőre tovább bővül. A High-NA EUV készülék kezdeti verziója a jövő év végén lesz elérhető, a sorozatgyártású modell pedig 2024 végén vagy 2025 elején lesz elérhető.
Az ASML október 19-i harmadik negyedéves eredményhirdetésében a következőket mondta: "Az EUV High-NA üzletágban az ASML további megrendeléseket kapott a TWINSCAN EXE:5200 termékre; az EUV összes ügyfele most benyújtotta Magas NA parancsok." A High-NA EUV eszköz egy olyan eszköz, amely a fénygyűjtő képességgel rendelkező objektív numerikus apertúráját (NA) 0,33-ról 0,55-re növeli. A meglévő EUV-eszközöknél finomabb félvezető áramkörök feldolgozása. Az iparágban a legtöbben egyetértenek abban, hogy a High-NA berendezések elengedhetetlenek a 2 nm-es folyamatokhoz.
